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半导体结构及其制备方法、三维存储器、存储系统.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114551457 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210141495.4 H01L 29/06 (2006.01)

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