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一种LED外延片、外延生长方法及LED芯片.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114551661 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210164053.1 H01L 33/14 (2010.01) (22)申请日 2022.02.

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