一种半导体测试结构和测试方法.pdf
文本预览下载声明
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112992864 A
(43)申请公布日 2021.06.18
(21)申请号 202110193604.2
(22)申请日 2021.02.20
(71)申请人 长江存储科技有限责任公司
显示全部