一种掩膜版图形关键尺寸精度优化方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114545727 A
(43)申请公布日 2022.05.27
(21)申请号 202210205001.4
(22)申请日 2022.03.02
(71)申请人 合肥清溢光电有限公司
地址 230
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