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一种掩膜版及其制作方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114540760 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210126293.2 (22)申请日 2022.02.10 (71)申请人 广州华星光电半导体
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