一种掩膜版及其制作方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114540760 A
(43)申请公布日 2022.05.27
(21)申请号 202210126293.2
(22)申请日 2022.02.10
(71)申请人 广州华星光电半导体
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