一种连续式ALD镀膜设备的物料移动结构.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114540797 A
(43)申请公布日 2022.05.27
(21)申请号 202210298279.0
(22)申请日 2022.03.25
(71)申请人 厦门韫茂科技有限公司
地址 361
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