半导体模块及半导体模块的制造方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114566469 A
(43)申请公布日 2022.05.31
(21)申请号 202111388732.9 H01L 25/16 (2006.01)
(22)申请日 2021.11.
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