半导体装置及半导体装置的制造方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114467182 A
(43)申请公布日 2022.05.10
(21)申请号 202180005544.5 (74)专利代理机构 北京铭硕知识产权代理有限
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