半导体装置、通信模块和半导体装置的制造方法.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112930587 A
(43)申请公布日 2021.06.08
(21)申请号 201980063675.1 (74)专利代理机构 北京康信知识产权代理有限
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