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一种三氟化硼及三氟化硼混合气体的制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114560473 A (43)申请公布日 2022.05.31 (21)申请号 202111591855.2 (22)申请日 2021.12.23 (71)申请人西安近代化学研究所地址 7100

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