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一种四氟甲烷及四氟甲烷混合气体的制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114573417 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202111589840.2 B01J 3/02 (2006.01)

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