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一种三氟化氮及三氟化氮混合气体的制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114572944 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202111589756.0 (22)申请日 2021.12.23 (71)申请人 西安近代化学研究所
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