一种三氟化氮及三氟化氮混合气体的制备方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114572944 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202111589756.0
(22)申请日 2021.12.23
(71)申请人 西安近代化学研究所
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