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用于多电平脉冲的装置及包括其的基板处理装置.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114566418 A (43)申请公布日 2022.05.31 (21)申请号 202111426087.5 (22)申请日 2021.11.25 (30)优先权数据 10-2020-0161997

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