文档详情

基板处理装置.pdf

发布：2023-06-18约9.94千字共10页下载文档

文本预览下载声明

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113396474 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202080009863.9 (74)专利代理机构北京纽盟知识产权代理事务

显示全部

相似文档

基板搬送装置以及基板处理装置.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823443 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210018112.4 (22)申请日 2022.01.07 (30)优先权数据
2023-05-15 约2.16万字 23页立即下载
基板处理装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113380657 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202110200870.3 (22)申请日 2021.02.23 (30)优先权数据 2020-0298
2023-06-19 约2.84万字 24页立即下载
基板处理装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113380658 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202110208992.7 (22)申请日 2021.02.24 (30)优先权数据 2020-0399
2023-06-20 约1.11万字 11页立即下载
基板处理装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113380659 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202110210293.6 B08B 3/10 (2006.01) (22)申请日 20
2023-06-20 约3.71万字 35页立即下载
用于处理基板的装置.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114582751 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202111442461.0 (22)申请日 2021.11.30 (30)优先权数据 10-2020-0164371
2023-05-09 约3.23万字 34页立即下载
基板处理装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212485277 U (45)授权公告日 2021.02.05 (21)申请号 202020511196.1 (22)申请日 2020.04.09 (30)优先权数据 2019-0775
2023-02-10 约1.98万字 20页立即下载
基板处理装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113013055 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202011477968.5 (22)申请日 2020.12.15 (30)优先权数据 10-2019-0
2023-06-07 约2.34万字 24页立即下载
基板处理装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113363187 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110617130.X H01L 21/02 (2006.01)
2023-06-19 约3.16万字 38页立即下载
基板处理装置.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114551304 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210184346.6 (22)申请日 2018.05.17 (30)优先权数据
2023-05-09 约3.42万字 32页立即下载
基板处理装置和载置台.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112992769 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202011457639.4 (22)申请日 2020.12.11 (30)优先权数据 2019-2283
2023-06-07 约2.09万字 21页立即下载
基板处理装置.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112997289 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 201980072017.9 (74)专利代理机构北京市金杜律师事务所
2023-06-09 约1.93万字 22页立即下载
基板处理装置.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823263 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210014555.6 (22)申请日 2022.01.07 (30)优先权数据 2021-007698 202
2023-05-14 约1.92万字 20页立即下载
基板处理装置以及基板处理方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号CN110010533A (43)申请公布日 2019.07.12 (21)申请号20191
2024-04-02 约8.98万字 90页立即下载
基板处理装置以及基板处理方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114902380 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202080089352.2 (74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限
2023-05-16 约2.96万字 29页立即下载
基板处理装置和基板处理方法.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113348534 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202080009765.5 (74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事
2023-06-19 约3.19万字 37页立即下载