基板处理装置.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212485277 U
(45)授权公告日 2021.02.05
(21)申请号 202020511196.1
(22)申请日 2020.04.09
(30)优先权数据
2019-0775
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