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在绝缘体上硅晶片上制造基于III-V族的光电器件的方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113366714 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202080006324.X (74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公

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