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一种真空镀膜机的冷却装置.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213388867 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202022095086.4 (22)申请日 2020.09.22 (73)专利权人 深圳市荣凯光电科技有限公司
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