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一种IBS真空镀膜均匀性修正装置及使用方法.pdf

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(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117418194A

(43)申请公布日2024.01.19

(21)申请号202311448113.3

(22)申请日2023.11.02

(71)申请人北极光电（深圳）有限公司

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