一种IBS真空镀膜均匀性修正装置及使用方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117418194A
(43)申请公布日2024.01.19
(21)申请号202311448113.3
(22)申请日2023.11.02
(71)申请人北极光电(深圳)有限公司
地址
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117418194A
(43)申请公布日2024.01.19
(21)申请号202311448113.3
(22)申请日2023.11.02
(71)申请人北极光电(深圳)有限公司
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