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一种真空镀膜用外膜快速冷却装置.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115342564 A (43)申请公布日 2022.11.15 (21)申请号 202210954040.4 C23C 14/24 (2006.01) (22)申请日 2022.08.

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