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一种具有快速清洗机构的真空镀膜装置.pdf

发布：2023-03-08约6.53千字共7页下载文档

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213409187 U (45)授权公告日 2021.06.11 (21)申请号 202021956722.1 (22)申请日 2020.09.09 (73)专利权人沈阳镨和真空电子设备有限公司

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