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掩模缺陷检测装置、掩模缺陷检测系统以及光刻机系统.pdf

发布：2023-05-10约1.43万字共13页下载文档

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114563348 A (43)申请公布日 2022.05.31 (21)申请号 202210096352.6 (22)申请日 2022.01.26 (71)申请人中国科学院微电子研究所地址 10

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