一种双光束无掩模光刻系统.pdf

一种光刻胶掩模的显影方法、装置、系统及储存介质.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114815527 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202111543776.4 (22)申请日 2021.12.16 (71)申请人清华大学地址 100084 北京

2023-05-14 约1.29万字 12页立即下载

掩模对准系统及光刻设备.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214122685 U (45)授权公告日 2021.09.03 (21)申请号 202120367151.6 (22)申请日 2021.02.09 (73)专利权人上海微电子装备（集团）股份有限

2023-04-04 约1.15万字 13页立即下载

一种双光束耦合激光增材成形方法及装置.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113369694 B (45)授权公告日 2022.06.07 (21)申请号 202110448400.9 (56)对比文件

2023-06-18 约1.24万字 14页立即下载

一种烟雾报警器的导烟及双光束识别结构.pdf (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213483056 U (45)授权公告日 2021.06.18 (21)申请号 202021827888.3 (22)申请日 2020.08.27 (73)专利权人宁波尚泰电子有限公司

2023-03-07 约1.01万字 12页立即下载

双光束激光直写平台下微纳三维光刻技术的创新与突破.docx 双光束激光直写平台下微纳三维光刻技术的创新与突破一、引言 1.1研究背景与意义在现代科技飞速发展的时代，芯片作为各种电子设备的核心部件，其制造工艺的进步一直是推动信息技术发展的关键力量。随着摩尔定律的不断推进，芯片制造工艺对于光刻技术的精度和分辨率要求日益严苛。光刻技术作为芯片制造的核心环节，其发展水平直接决定了芯片的性能、集成度以及生产成本。从最初的接触式光刻，到如今的极紫外光刻（EUV），光刻技术经历了多次重大变革，每一次的技术突破都极大地推动了芯片制造工艺的进步，使得芯片的尺寸不断缩小，性能不断提升。然而，当前主流的极紫外光刻技术已经逐渐接近其物理极限，面临着诸多挑战，如设备

2025-03-20 约3.03万字 25页立即下载

11-5 型的双光束干涉系统及其应用.ppt * §11－5 典型的双光束干涉系统及其应用一、典型干涉系统 1、斐索干涉仪：等厚干涉型的干涉仪（光学零件表面质量的检查） a 表面不平度 L3 G L2 P Q L1 激光平面干涉仪 H 球面干涉仪 P L Q D h R1 R2 P Q （1）属于等厚干涉（2）干涉光束，一个来自标准反射面，一个来自被测面。（1）光程差与厚度的关系。（2）厚度变化与条纹弯曲方向的关系。（3）干涉面间距变化与条纹移动的关系。条纹分析：注意应用比例关系小结：基本特点：重点掌握：测量表面平面度、局部误差应用：测量平板的平行度和楔

2018-03-02 约小于1千字 14页立即下载

分振幅法双光束干涉.ppt 第19章光的干涉*一、等厚干涉二、等倾干涉§19.4分振幅法双光束干涉一.等厚干涉第19章光的干涉*反射光2反射光1S（分振幅法）如图：两条相干光线的光程差：考虑到有半波损失因此有：（有附加光程差）折射定律：第19章光的干涉*薄膜12反射光干涉薄膜透射光干涉12波长550nm黄绿光对人眼和照相底片最敏感。要使照相机对此波长反射小，可在照像机镜头上镀一层氟化镁MgF2薄膜，已知氟化镁的折射率n=1.38，玻璃的折射率n=1.55。解两条反射光干涉减弱条件增透膜的最小厚度增反膜薄膜光学厚度（nd）仍可以为例1但膜层折射率n比玻璃的折射率大求氟化镁薄膜的最小厚度。说明等厚干涉第19章光的干涉*STE

2025-02-04 约1.41千字 10页立即下载

5分振幅法双光束干涉.ppt 实验装置－光纤化的迈克耳逊干涉仪光源电子学系统计算机探测器光纤耦合器样品光纤聚焦器反射镜大葱表皮的 OCT 图像实际样品大小为10mm×4mm，图中横向分辨率约为20μm 纵向分辨率约为25μm 应用生物医学材料科学 ····· 我国第一台OCT的第一张图清华原子分子国家重点实验室兔子眼球前部的OCT图像晶状体上皮睫状体角膜后表面角膜前表面清华原子分子国家重点实验室第3章结束 * §5 分振幅法双光束干涉一、相干光束和光程差二、等厚条纹三、等倾条纹 ? e ? n? n? n · A 反射光2 反射光1 单色

2017-06-24 约2.75千字 34页立即下载

5 分振幅法双光束干涉.ppt 实验装置－光纤化的迈克耳逊干涉仪光源电子学系统计算机探测器光纤耦合器样品光纤聚焦器反射镜大葱表皮的 OCT 图像实际样品大小为10mm×4mm，图中横向分辨率约为20μm 纵向分辨率约为25μm 应用生物医学材料科学 ····· 我国第一台OCT的第一张图清华原子分子国家重点实验室兔子眼球前部的OCT图像晶状体上皮睫状体角膜后表面角膜前表面清华原子分子国家重点实验室第3章结束 * §5 分振幅法双光束干涉一、相干光束和光程差二、等厚条纹三、等倾条纹 ? e ? n? n? n · A 反射光2 反射光1 单色

2015-09-11 约2.75千字 34页立即下载

2.1_双光束干涉.ppt 第1章　光的干涉 2.1　双光束干涉 2.1.1 产生干涉的基本条件 1.两束光的干涉现象 2.产生干涉的条件 3.实现光束干涉的基本方法 2.1.2 双光束干涉 1.分波面法双光束干涉 2.分振幅双光束干涉 1.两束光的干涉现象光的干涉：指两束或多束光在空间相遇时，在重叠区内形成稳定的强弱强度分布的现象。在能观察到稳定的光强分布的情况下 2.产生干涉的条件 1）干涉条纹可见度定义 2）产生干涉的条件 (1) 对叠加光束的频率要求当两光束频率相等，Δω=0时，干涉光强不随时间变化，可以得到稳定的干涉条纹分布。当两光束的频率不相等，Δω≠0时，干涉条纹将随着时间产生移动，且Δ

2016-09-01 约5.13千字 42页立即下载

分振幅法双光束干涉.ppt 实验装置－光纤化的迈克耳逊干涉仪光源电子学系统计算机探测器光纤耦合器样品光纤聚焦器反射镜大葱表皮的 OCT 图像实际样品大小为10mm×4mm，图中横向分辨率约为20μm 纵向分辨率约为25μm 应用生物医学材料科学 ····· 我国第一台OCT的第一张图清华原子分子国家重点实验室兔子眼球前部的OCT图像晶状体上皮睫状体角膜后表面角膜前表面清华原子分子国家重点实验室第3章结束 * §5 分振幅法双光束干涉一、相干光束和光程差二、等厚条纹三、等倾条纹 ? e ? n? n? n · A 反射光2 反射光1 单色

2017-07-04 约2.75千字 34页立即下载

一种利用双光束干涉仪滤除光束中部分相干噪声的方法.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114553319 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210118579.6 (22)申请日 2022.02.08 (71)申请人山东大学地址 250013 山东

2023-05-10 约8.18千字 10页立即下载

《双光束干涉实验》课件.ppt 双光束干涉实验;课程目标;光的干涉现象概述;相干光源的定义;相干光源的特征;光的干涉条件;杨氏双缝干涉实验简介;杨氏双缝干涉实验装置图;杨氏双缝干涉原理;光程差的概念;光程差与干涉条纹的关系;明暗条纹形成条件;干涉条纹间距公式推导;干涉条纹间距与各参数的关系;实验器材介绍;双缝干涉仪结构;光源选择及其重要性;单色光源的使用;滤光片的作用;实验步骤（一）：装置组装;实验步骤（二）：调整光路;实验步骤（三）：观察干涉图样;实验步骤（四）：测量条纹间距;实验数据记录表格;数据处理方法;误差分析;常见问题及解决方案;白光干涉现象;白光干涉条纹特点;不同颜色光的波长比较;双缝间距对干涉图样的影响;双缝到

2025-03-15 约小于1千字 60页立即下载

平行平板的双光束干涉.ppt §12-4平板的双光束干涉分波阵面法的干涉：受到空间相干性的限制（干涉孔径角总有一定大小，且），只能使用有限大小的光源，在实际中不能满足条纹亮度的要求（激光光源除外）。为了使用扩展光源，必须实现干涉孔径角等于零的干涉。分振幅法:利用透明介质的第一和第二表面对入射光的依次反射，将入射光的振幅分解为若干部分，由这些光波相遇所产生的干涉，称为分振幅法干涉。在使用扩展光源的同时，保持清晰的条纹，解决条纹亮度与可见度的矛盾。·pS*干涉条纹的定域两个单色相干点光源在空间任意一点相遇，总有一确定的光程差，从而产生一定的强度分布，并都能观察到清晰的干涉条纹，这种干涉称为非定域干涉。在扩展光源情况下，由光源上

2025-02-24 约1.86千字 10页立即下载

双光束干涉信号的解调.doc 双光束干涉仪的信号解调仿真设计 1 绪论 1.1引言光纤传感技术是20世纪70年代末新兴的一项技术，在全世界形成了研究热门，已与光纤通信并驾齐驱；光纤传感器由于其优越的性能而倍受青睐，其具有以下优点：体积小、质量轻、抗电磁干扰、防腐蚀、灵敏度很高、测量带宽很宽、检测电子设备与传感器可以间隔很远等优点，可以构成传感网络。干涉型光纤传感器能够实现精确、快速、非接触的测量，直接测量分辨率、精度、动态范围等因素。光纤干涉仪采用光干涉技术，其测量精度比普通光纤传感器的测量精度更高，其不仅可以代替传统的干涉仪功能，还能用于教学，还可以测量压力、应力、磁场、折射率、微震动、微位移等，用途非常广泛。干涉型

2017-12-10 约1.54万字 32页立即下载