一种半导体晶圆片加工用切割设备.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218575274 U
(45)授权公告日 2023.03.07
(21)申请号 202222524703.7
(22)申请日 2022.09.23
(73)专利权人 江阴市优立拓科技
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