一种半导体晶片检测用三维共焦显微测量装置.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213396968 U
(45)授权公告日 2021.06.08
(21)申请号 202022421431.9
(22)申请日 2020.10.27
(73)专利权人 元素光电智能科技(苏州)有限公
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