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一种半导体晶圆外径检测装置.pdf

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(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN221037217U

(45)授权公告日2024.05.28

(21)申请号202323173947.6

(22)申请日2023.11.23

(73)专利权人苏州苏纳光电有限公司

地址2

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