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一种半导体器件的制备方法.pdf

发布：2023-05-04约1.02万字共10页下载文档

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114464544 A (43)申请公布日 2022.05.10 (21)申请号 202210021764.3 (22)申请日 2022.01.10 (71)申请人绍兴同芯成集成电路有限公司地址

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