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一种半导体器件及其制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114566472 A (43)申请公布日 2022.05.31 (21)申请号 202210192071.0 (22)申请日 2022.03.01 (71)申请人南方科技大学

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