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一种功率半导体器件及其制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112820645 B (45)授权公告日 2022.07.05 (21)申请号 202011637491.2 H01L 29/423 (2006.01) (22)申请日 202
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