第2章传感器的功能材料及加工工艺.ppt

第2章 传感器的功能材料及加工工艺;;2.1传感器使用的材料;2.1.1材料的基本物理知识;2.1.1材料的基本物理知识;2.1.1材料的基本物理知识;2.1.1.4导体和非导体的能带;2.1.1.4导体和非导体的能带;2.1.2导体、半导体和电介质;2.1.2.1导体（金属和离子导体）敏感材料;2.1.2导体、半导体和电介质;2.1.2.2半导体敏感材料;2.1.3陶瓷敏感材料;2.1.3陶瓷敏感材料;2.1.3陶瓷敏感材料;2.1.3.1物理敏感陶瓷材料;2.1.3陶瓷敏感材料;;2.1.3有机高分子敏感材料;2.1.4.1有机敏感材料的种类和特性;2.1.4.1有机敏感材料的种类和特性;2.1.4 有机高分子敏感材料;;2.1.5 磁性材料;;2.2 传感器的加工工艺;2.2.1结构型传感器的加工工艺;2.2.1结构型传感器的加工工艺;2.2.1结构型传感器的加工工艺;2.2.2微机械加工工艺;2.2.2.1微传感器与微机电系统;2.2.2微机械加工工艺;2.2.2微机械加工工艺;2.2.2微机械加工工艺;2.2.2.3传统超精密与特种加工技术;2.2.2微机械加工工艺;2.2.2微机械加工工艺;2.2.2微机械加工工艺;2.2.2.4微机电系统常用的集成电路工艺;2.2.2.4微机电系统常用的集成电路工艺;2.2.2.4微机电系统常用的集成电路工艺;2.2.2.4微机电系统常用的集成电路工艺;2.2.2.4微机电系统常用的集成电路工艺;2.2.2.4微机电系统常用的集成电路工艺