传感器的功能材料及加工工艺.ppt

微机械加工工艺微传感器与微机电系统图2?11MEMS所涉及到的技术领域微传感器与微机电系统图2?12MEMS的应用微机械加工工艺2.2.2.2MEMS所用材料单晶硅与多晶硅图2?13单晶硅的硅胞及常用晶片LOGO第2章传感器的功能材料及加工工艺2.12.2第2章传感器的功能材料及加工工艺传感器使用的材料传感器的加工工艺2.1传感器使用的材料表2?1各类材料在传感器中的应用情况材料的基本物理知识2.1.1.1基本粒子元素的电子层结构表2?2键性与物性的关系材料的基本物理知识2.1.1.3固体的能带图2-11在氢分子中δ1S和δ*1S分子轨道的状态能量与两氢核之间距离的关系曲线图2?2“金属”氢的能态与氢核之间距离的关系曲线材料的基本物理知识导体和非导体的能带图2?3在金刚石中SP3杂化原子轨道所产生的价带和导带图导体和非导体的能带图2?4金属，绝缘体和半导体能带图导体和非导体的能带图2?5晶胞用空间点阵描述导体、半导体和电介质导体（金属和离子导体）敏感材料（2?1）（2?2）电场使电子加速：平均速度或漂移速度为：电流密度为：（2?3）电导率为：（2?4）导体（金属和离子导体）敏感材料图2?6金属系温度敏感元件的物理量变换方式半导体敏感材料由于电子和空穴都影响总电流，因此式（2-4）变换成下面的形式：01电介质02（2?5）03导体、半导体和电介质半导体敏感材料表2?3采用半导体材料制作传感器的例子陶瓷敏感材料表2?4利用陶瓷敏感材料制作传感器的例子陶瓷敏感材料陶瓷热释电材料陶瓷压电元件陶瓷光敏电阻物理敏感陶瓷材料01陶瓷热敏器件02030405陶瓷敏感材料物理敏感陶瓷材料表2?5各种热释电体的特性气敏陶瓷?化学敏感陶瓷材料01湿敏陶瓷0203其他陶瓷材料04陶瓷敏感材料表2?6主要利用化学现象的氧化物载体金属敏感元件有机高分子敏感材料有机敏感材料的种类和特性表2?7有机敏感材料有机敏感材料的种类和特性表2?8利用有机材料的敏感元件有机敏感材料的种类和特性有机高分子湿敏材料有机高分子气敏材料有机高分子压电材料2.1.4有机高分子敏感材料表2?9几种有代表性的高分子气体传感器真空中的磁通量与外加磁场强度成正比：其中，M是每单位体积的磁偶极矩或磁化强度，为相对磁导率。0102032.1.5磁性材料logo图2?7由磁畴位移和定向引起的铁磁材料的磁化2.2传感器的加工工艺结构型传感器的加工工艺图2?8应用不同的加工方法所能得到的加工精度结构型传感器的加工工艺图2?9悬臂梁式称重传感器AEDFBC应变计的粘贴与固化组桥、布线卫性能检查防潮密封工艺传感器的性能补偿与老化性能检测和标定工艺弹性体的加工和处理结构型传感器的加工工艺结构型传感器的加工工艺图2?10电阻应变式传感器的防护密封结构示意图LOGO