半导体制程技术半导体制程技术.pdf

半導體元件與物理 半導體元件與物理 Semiconductor Devices and physics Semiconductor Devices and physics 許正興 國立聯合大學電機工程學系 聯大電機系電子材料與元件應用實驗室 1. Crystal Structure of Solids 2. Quantum Theory of Solids 3. Semiconductor in Equilibrium and Carrier Transport phenomena 4. PN Junction and Metal-Semiconductor 5. BJT 6. MOSFET 7. Optical Device 聯大電機系電子材料與元件應用實驗室 第一個電晶體, ATT貝爾實驗室, 1947 第一個單晶鍺, 1952 第一個單晶矽, 1954 第一個積體電路元件, 德州儀器, 1958 第一個矽積體電路晶片, 費爾查德照相機公司, 1961 聯大電機系電子材料與元件應用實驗室 第一個電晶體,貝爾實驗室, 1947 聯大電機系電子材料與元件應用實驗室 第一個電晶體的發明者 約翰‧巴定，威廉‧肖克萊和 華特‧布萊登 聯大電機系電子材料與元件應用實驗室 1958年德州儀器的傑克、克畢製造出的第一 個積體電路晶片(棒) 照片提供: 德州儀器 聯大電機系電子材料與元件應用實驗室 1961年費爾查德攝影機公司在矽晶圓上製出的第一個 積體電路 聯大電機系電子材料與元件應用實驗室 摩爾定律 1964年哥登 ‧摩爾(英特爾公司的共同創始人之一) 價格不變之下，電腦晶片上的元件數目，幾乎每12個月就增加 一倍 1980年代減緩至每18個月 到目前仍屬正確，預期可以維持到2010年 聯大電機系電子材料與元件應用實驗室 摩爾定律(英特爾版本) Transistors Pentium III 10M 80486 Pentium 1M 80386 100K 8086 80286 10K 4040 8080 1K 1975 1980 1985 1990 1995 2000 聯大電機系電子材料與元件應用實驗室 ITRS Roadmap 聯大電機系電子材料與元件應用實驗室 IC 的尺度