光电探测单元、光电探测结构和光电探测器及其制备方法.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112825339 A
(43)申请公布日
2021.05.21
(21)申请号 20191
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