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光电探测单元、光电探测结构和光电探测器及其制备方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112825339 A (43)申请公布日 2021.05.21 (21)申请号 20191
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