光电探测器及其形成方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117894868A
(43)申请公布日2024.04.16
(21)申请号202211221103.1H01L21/20(2006.01)
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*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;6.微通道板;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;2DU－用P型硅作基底，上面通过扩散法掺入磷，形成N区（1～2um）;*;*;*;*;*;*;*;*;*;
;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;位置灵敏探测器（PSD）;一维PSD;二维PSD和等效电路 ;PSD的位置计算;位置检测误差 ;*;电荷耦合原理 ;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;
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第1章 光电导探测器.ppt
* 知识回顾 1. 电导率的表达式： 5. 欧姆定律的微分形式： 2. 光电导效应： 3. 提高光电导效应的方法？ 4. 发生光电导效应的条件？ 6. 亮电流、暗电流、光电流 设：光电阻上的电压为U, 光电导长度为L，横截面积为A 无光照时电流为---- 光照产生的电流为----- 暗电导 暗电阻 光照时电流为---- 亮电导 亮电阻 光电导 暗电流 亮电流 光电流 三种量之间的关系-------- 光电导长度对光电流的影响------ 因此在设计光敏电阻时为了既减小电极间的距离L,又保证光敏电阻有足够的受光面积,一般采用如图所示的几种电极结构。 暗电导： 亮电导： 光电导： 1.5.2
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(71)申请人季华实验室
地址528200
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蒋燕义
什么是光探测器？
光
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热量
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电压
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光辐射探测器
光辐射探测器
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光
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晶格振动
光辐射探测器－特点
“慢热”——响应时间慢
最快只能响应到ns量级
“木讷”——灵敏度低
“兼容性好”——响应波长范围广
光电探测器－特点
时间响应快
灵敏度高
具有波长选择性
光电探测器－分类
光电探测器
内光电
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光伏器件
光真空器件
电子逸出
爱因斯坦的光电效应定律
外光电效应－原理
入射光子能量
探测器材料逸出功
光电子离开探测器靶面后的动能
截止频率或截止波长
1. 灵敏度（sensitivity）
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