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一种基于音速喷嘴的气体流量自动控制装置及其控制方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114879759 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210378970.X (22)申请日 2022.04.12 (71)申请人清华大学地址 100084 北京

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