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一种用于气体质量流量控制器的一体化微喷嘴.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113351387 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110755206.5 (22)申请日 2021.07.01 (71)申请人兰州空间技术物理研究所

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