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一种锆钛酸铅压电薄膜及其制备方法与应用.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112928200 B (45)授权公告日 2023.04.07 (21)申请号 202110082483.4 H10N 30/093 (2023.01)
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