一种三明治结构柔性压电复合薄膜及其制备方法和应用.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114824056 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210254125.1 H01L 41/37 (2013.01)
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