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一种Ba3Zr2S7薄膜及其制备方法和应用.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114873639 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210332077.3 C23C 14/58 (2006.01)

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