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碳化硅腐蚀炉炉体及碳化硅腐蚀炉.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213476159 U (45)授权公告日 2021.06.18 (21)申请号 202021965426.8 (22)申请日 2020.09.09 (73)专利权人 比亚迪股份有限公司
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