半导体封装结构及其制造方法.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113394177 A
(43)申请公布日 2021.09.14
(21)申请号 202110945983.6 H01L 21/56 (2006.01)
(22)申请日 2
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