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一种单一N极性AlN薄膜制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116043188 A (43)申请公布日 2023.05.02 (21)申请号 202211414050.5 C23C 14/06 (2006.01)

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