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一种折射率可调的AlN薄膜的制备设备及方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113337795 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110702031.1 (22)申请日 2021.06.24 (71)申请人 浙江艾微普科技有限公司
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