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深紫外LED外延片、制备方法及半导体器件.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114566578 A (43)申请公布日 2022.05.31 (21)申请号 202210326620.9 (22)申请日 2022.03.30 (71)申请人江苏第三代半导体研

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