改善晶圆翘曲的方法、半导体器件制备方法及半导体器件.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114566429 A
(43)申请公布日 2022.05.31
(21)申请号 202011362084.5
(22)申请日 2020.11.27
(71)申请人 株洲中车时代半导体有限公司
地址
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