高分辨透射电子显微分析技术.ppt
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高分辨透射电子显微术.ppt
高分辨TEM1高分辨TEM是观察材料微观结构的方法。不仅可以获得晶包排列的信息，还可以确定晶胞中原子的位置。2200KV的TEM点分辨率为0.2nm，1000KV的TEM点分辨率为0.1nm。3可以直接观察原子象用物镜光阑选择透射波，观察到的象为明场象；用物镜光阑选择一个衍射波，观察到的是暗场像；在后焦平面上插上大的物镜光阑可以获得合成象，即高分辨电子显微像高分辨显微像01重原子具有较大的势，像强度弱。高分辨显微像的衬度是由合成的透射波与衍射波的相位差所形成的。入射电子与原子发生碰撞作用后，会是入射电子波发生相位的变化。透射波和衍射波的作用所产生的衬度与晶体中原子的晶体势有对应关系。02030
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扫描透射电子显微分析技术.pdf
材料现代分析方法 扫描透射电子显微分析技术
第五章第五章
扫描透射电子显微分析扫描透射电子显微分析扫描透射电子显微分析扫描透射电子显微分析
技术技术技术技术(STEM)(STEM)
College of MSE, CQU 1
材料现代分析方法
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第12章 高分辨透射电子显微术.ppt
第十二章 高分辨透射电子显微术 （High-Resolution Transmission Electron Microscopy） 1924年，de Broglie提出波粒二象性 假说 1926年 ，Busch发现了不均匀的磁场可以聚焦电子束 1933年 ，柏林大学研制出第一台电镜（点分辨率达到50nm） 1939年，德国西门子公司生产出第一批商用透射电镜（点分辨率10nm） 1950年 ，开始生产高压电镜（点分辨率优于0.3nm，晶格条纹分辨率由于0.14nm） 1956年 ，门特(Menter)发明了多束电子成像方法，开创了高分辨电子显微术， 获得原子象。 透射像（TE
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高分辨透射电子显微术课件.ppt
* 第二篇 材料电子显微分析 第八章 电子光学基础 第九章 透射电子显微镜 第十章 电子衍射 第十一章 晶体薄膜衍衬成像分析 第十二章 高分辨透射电子显微术 第十三章 扫描电子显微镜 第十四章 电子背散射衍射分析技术 第十五章 电子探针显微分析 第十六章 其他显微结构分析方法 * 高分辨电子显微术是材料原子级别显微组织结构的相位 衬度显微术，利用该技术可使大多数晶体材料中的原子串成 像，称为高分辨像 图12-1为面心立方结构的Si晶体沿[0 0 1]方向的高分辨像，其 中白色亮点为Si 原子串的投影位置 第十二章 高分辨透射电子显微术 图12-1 S
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透射电子显微分析 .ppt
关于透射电子显微分析*第1页，课件共37页，创作于2023年2月*透射电镜（TEM）透射电镜即透射电子显微镜（TransmissionElectronMicroscope，简称TEM），通常称作电子显微镜或电镜（EM），是使用最为广泛的一类电镜。第2页，课件共37页，创作于2023年2月*透射电子显微镜JEM-1011透射电子显微镜莱卡超薄切片机玻璃刀制作仪第3页，课件共37页，创作于2023年2月*电子显微分析方法的种类透射电子显微镜(TEM)可简称透射电镜扫描电子显微镜(SEM)可简称扫描电镜电子探针X射线显微分析仪简称电子探针(EPA或EPMA)：波谱仪(波长色散谱仪，WDS)与能谱仪(
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透射电子显微分析.ppt
第四节电子衍射运动学理论透射电镜衍射衬度是由样品底表面不同部位的衍射束强度存在差异而造成的。要深入理解和正确解释透射电镜衍衬像的衬度特征，就需要对衍射束的强度进行计算。动力学衍射运动学衍射第32页,共35页，2024年2月25日，星期天一、运动学理论的基本假设运动学理论是建立在运动学近似[即忽略各级衍射束(透射束为零级衍射束)之间的相互作用]基础之上的用于讨论衍射波强度的一种简化理论。其基本假设是：①入射电子在样品内只可能受到不多于一次的散射。②入射电子波在样品内的传播过程中，强度的衰减可以忽略。即衍射波强度始终远小于入射波强度。否则衍射波会发生较为显著的再次衍射，即动力学衍射。第33页,共3
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透射电子显微分析2.ppt
质厚衬度受物镜光阑孔径和加速V的影响。 选择大孔径（较多散射电子参与成像），图像亮度增加，散射与非散射区域间的衬度降低。 选择低电压（较多电子散射到光阑孔径外），衬度提高，亮度降低。 晶体样品衬度的主要来源。 样品中各部分满足衍射条件的程度不同引起。衍射衬度成像就是利用电子衍射效应来产生晶体样品像衬度的方法。 晶体样品的成像过程中，起决定作用的是晶体对电子的衍射。试样内各晶面取向不同，各处衍射束I差异形成衬度。 假设样品由颗粒A、B组成，强度I0入射电子照射样品，B的(hkl)面与入射束满足布拉格方程，产生衍射束I，忽略其它效应（吸收），其透射束为： 晶粒A与入射束不满足布拉格方程，其衍射束I
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透射电子显微分析 .ppt
关于透射电子显微分析*第1页，共37页，星期日，2025年，2月5日*透射电镜（TEM）透射电镜即透射电子显微镜（TransmissionElectronMicroscope，简称TEM），通常称作电子显微镜或电镜（EM），是使用最为广泛的一类电镜。第2页，共37页，星期日，2025年，2月5日*透射电子显微镜JEM-1011透射电子显微镜莱卡超薄切片机玻璃刀制作仪第3页，共37页，星期日，2025年，2月5日*电子显微分析方法的种类透射电子显微镜(TEM)可简称透射电镜扫描电子显微镜(SEM)可简称扫描电镜电子探针X射线显微分析仪简称电子探针(EPA或EPMA)：波谱仪(波长色散谱仪，WDS
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透射电子显微分析 (2).ppt
**************************************功能的扩展早期的透射电子显微镜功能主要是观察样品形貌，后来发展到可以通过电子衍射原位分析样品的晶体结构。具有能将形貌和晶体结构原位观察的两个功能是其它结构分析仪器（如光镜和X射线衍射仪）所不具备的。透射电子显微镜增加附件后，其功能可以从原来的样品内部组织形貌观察（TEM）、原位的电子衍射分析（Diff），发展到还可以进行原位的成分分析（能谱仪EDS、特征能量损失谱EELS）、表面形貌观察（二次电子像SED、背散射电子像BED）和透射扫描像（STEM）。第31页，共48页，星期日，2025年，2月5日功能的扩展结合样品台
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透射电子显微分析1.ppt
磁透镜的放大倍数 电磁透镜的焦距 式中：k－常数 V－加速电压 (IN)－安匝数 I－通过线圈导线的电流，N－线圈每厘米长度上的圈数 由此可知 I 增加，则 f 降低，在像距一定的情况下，放大倍数增加。 物距 、像距 、焦距 放大倍数 可以表示为： 与光学显微镜不同，磁透镜的焦距可以通过改变线圈的电流来改变 透射电镜的结构 透射电镜的外观照片 通常透射电镜由照明系统、成像系统、显像和记录系统、真空系统、供电系统组成，其中照明系统和成像系统（电子光学系统）是电镜的主要组成部分。 透射电镜的结构 图5-12是电子光学系统的组成部分示意图。由图可见透射电镜电子光学系统是一种积木式
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第四章透射电子显微分析技术二.ppt
第四章 透射电子显微分析技术（二） 推荐一本参考书 《生物医学电镜样品制备方法》 -----戴大临 张清敏 著 透射电镜生物医学试样的制备 一 超薄切片技术 超薄切片的常规程序 超薄切片使用的设备 超薄切片使用的试剂及配方 二 生物样品的负染色技术 一、 超薄切片技术 透射电镜生物医学试样超薄切片的制作过程 需要经过取材、固定、清洗、脱水、浸透、包埋（聚合）、切片及染色等步骤。 超薄切片常规程序 取样：大小1mm3； 醛类(如戊二醛）预固定：2-4小时； 缓冲液清洗几次，中间更换新的缓冲液； 锇酸后固定： 0-4℃下 1-4小时； 缓冲液清洁半
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透射电子显微学.pptx
透射电子显微学Transmission Electron Microscopy贺连龙中国科学院金属研究所主要参考书目材料结构电子显微分析，刘文西、陈玉如 著，天津大学出版社。电子衍射图在材料科学中的应用，郭可信，叶恒强，吴玉昆，科学出版社 1983。薄晶体电子显微学，刘安生、李永洪 译，科学出版社 1992。透射电子显微学，黄孝瑛 编著，上海科学技术出版社。材料评价的分析电子显微方法，刘安生 译，冶金工业出版社。高空间分辨分析电子显微学，朱静、叶恒强 等编著，科学出版社。高分辨电子显微学在固体科学中的应用，郭可信、叶恒强 主编，科学出版社。材料评价的高分辨电子显微方法，刘安生 译
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透射电子显微析2.ppt
质厚衬度受物镜光阑孔径和加速V的影响。 选择大孔径（较多散射电子参与成像），图像亮度增加，散射与非散射区域间的衬度降低。 选择低电压（较多电子散射到光阑孔径外），衬度提高，亮度降低。 佃腥薯飞钎桩登信专馁氮事奠冉隘科虹爪瑶冰亦茎住佰寻赐葛趣程或隔廊透射电子显微析2透射电子显微析2 守悠黎啤弊屯挖经旋埋馋非碟置贪忘壶科蹿俯泉儡串嘉钞捕琳捐牢禾铣惑透射电子显微析2透射电子显微析2 晶体样品衬度的主要来源。 样品中各部分满足衍射条件的程度不同引起。衍射衬度成像就是利用电子衍射效应来产生晶体样品像衬度的方法。 晶体样品的成像过程中，起决定作用的是晶体对电子的衍射。试样内各晶面取向不同，各处衍射束I差异
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透射电子显微技术-曹艳霞讲述.ppt
透射电子显微 分析技术
曹艳霞
郑州大学材料科学与工程学院
主要内容
电子光学基础
透射电子显微技术
样品制备
电子光学基础
一、电子与物质的相互作用
二、为什么采用电子束而不用自然光？Why not visible light?
分辨率
λ： 光源的波长； n： 物点和透镜之间的折射率； α： 孔径半角，即透镜对物点的张角的一半；
nsinα称为数值孔径，用N.A表示。
提高分辨率的方法?
降低入射光的波长
增加介质的折光指数
增加入射光圆锥的半角
自然光与电子束的波长:
可见光的波长在3900～7600?，光学玻璃透镜分辨本领
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03-透射电子显微分析.doc
实验三. 透射电子显微分析
学时：2 要求：必做 类型：设计 类别：专业基础
实验目的
1. 了解透射电子显微镜的结构和工作原理
2. 了解透射电子显微镜样品制备的方法。
3. 了解透射电镜的分析方法。
二、实验原理
透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器。
图1 利用光学透镜表示电子显微像成像过程的光路图
三、实验仪器设备及流程
本实验用仪器为日本电子公司生产的JEM-2010 UHRTEM高分辨电镜。仪器性能指标：加速电压200KV，线分辨率1.43?，点分辨率1.9?。它由电子光学系统