透射电子显微分析 (2).ppt

**************************************功能的扩展早期的透射电子显微镜功能主要是观察样品形貌，后来发展到可以通过电子衍射原位分析样品的晶体结构。具有能将形貌和晶体结构原位观察的两个功能是其它结构分析仪器（如光镜和X射线衍射仪）所不具备的。透射电子显微镜增加附件后，其功能可以从原来的样品内部组织形貌观察（TEM）、原位的电子衍射分析（Diff），发展到还可以进行原位的成分分析（能谱仪EDS、特征能量损失谱EELS）、表面形貌观察（二次电子像SED、背散射电子像BED）和透射扫描像（STEM）。第31页，共48页，星期日，2025年，2月5日功能的扩展结合样品台设计成高温台、低温台和拉伸台，透射电子显微镜还可以在加热状态、低温冷却状态和拉伸状态下观察样品动态的组织结构、成分的变化，使得透射电子显微镜的功能进一步的拓宽。透射电子显微镜功能的拓宽意味着一台仪器在不更换样品的情况下可以进行多种分析，尤其是可以针对同一微区位置进行形貌、晶体结构、成分（价态）的全面分析。第32页，共48页，星期日，2025年，2月5日分析型透射电子显微镜利用电子束与固体样品相互作用产生的物理信号开发的多种分析附件，大大拓展了透射电子显微镜的功能。由此产生了透射电子显微镜的一个分支——分析型透射电子显微镜。第33页，共48页，星期日，2025年，2月5日分析型透射电子显微镜第34页，共48页，星期日，2025年，2月5日分析型透射电子显微镜第35页，共48页，星期日，2025年，2月5日超高压电镜第36页，共48页，星期日，2025年，2月5日???日本日立公司H－700电子显微镜，配有双倾台，并带有7010扫描附件和EDAX9100能谱。该仪器不但适合于医学、化学、微生物等方面的研究，由于加速电压高，更适合于金属材料、矿物及高分子材料的观察与结构分析，并能配合能谱进行微区成份分析。●?分辨率：0.34nm

●?加速电压：75KV－200KV

●?放大倍数：25万倍

●?能谱仪：EDAX－9100

●?扫描附件：S7010第37页，共48页，星期日，2025年，2月5日CM200-FEG场发射枪电镜JEM-2010透射电镜加速电压200KV

LaB6灯丝

点分辨率1.94?加速电压20KV、40KV、80KV、160KV、200KV可连续设置加速电压

热场发射枪

晶格分辨率1.4?

点分辨率2.4?

最小电子束直径1nm

能量分辨率约1ev

倾转角度α=±20度，β=±25度第38页，共48页，星期日，2025年，2月5日JEM-2010透射电镜加速电压200KV

LaB6灯丝

点分辨率1.94?EM420透射电子显微镜加速电压20KV、40KV、60KV、80KV、100KV、120KV

晶格分辨率2.04?

点分辨率3.4?

最小电子束直径约2nm

倾转角度α=±60度

???????β=±30度第39页，共48页，星期日，2025年，2月5日PhilipsCM12透射电镜加速电压20KV、40KV、60KV、80KV、100KV、120KV

LaB6或W灯丝

晶格分辨率2.04?

点分辨率3.4?

最小电子束直径约2nm；

倾转角度α=±20度

???????β=±25度CEISS902电镜加速电压50KV、80KV

W灯丝

顶插式样品台

能量分辨率1.5ev

倾转角度α=±60度

???????转动4000第40页，共48页，星期日，2025年，2月5日高分辨透射电子显微镜透射电子显微镜发展的另一个表现是分辨率的不断提高。目前200KV透射电子显微镜的分辨率好于0.2nm，1000KV透射电子显微镜的分辨率达到0.1nm。透射电子显微镜分辨率的提高取决于电磁透镜的制造水平不断提高，球差系数逐渐下降；透射电子显微镜的加速电压不断提高，从80KV、100KV、120KV、200KV、300KV直到1000KV以上；为了获得高亮度且相干性好的照明源，电子枪由早期的发夹式钨灯丝，发展到LaB6单晶灯丝，现在又开发出场发射电子枪。第41页，共48页，星期日，2025年，2月5日高分辨透射电子显微镜提高透射电子显微镜分辨率的关键在于物镜制造和上下极靴之间的间隙，舍弃各种分析附件可以使透射电子显微镜的分辨率进一步提高，由此产生了透射电子显微镜的另一个分支——高分辨透射电子显微镜（HREM）。但是近年来随着电子显微镜制造技术的提高，高分辨透射电子显微镜也在增加各种分析附件，完善其分析功能。第42页