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一种基于磁控溅射的高熵陶瓷复合涂层制备方法及高熵陶瓷复合涂层.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114875373 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210547011.6 (22)申请日 2022.05.18 (71)申请人 上海大学 地址 200444 上海
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