一种采用磁控溅射法制备金属支撑单体的方法.pdf
文本预览下载声明
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113355643 A
(43)申请公布日 2021.09.07
(21)申请号 202110915770.9
(22)申请日 2021.08.10
(71)申请人 北京
显示全部