T_GVS 015—2024(远程等离子体源的解离率测试方法).pdf
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ICS71.040.99
CCSN51
TGVS
团体标准
T/GVS015—2024
台
平
息
远程等离子体源的解离率测试方法
信
Testmethodfordissociationrateofremoteplasmasource
准
标
体
团
国
全
2024-10-10发布2024-10-10实施
广东省真空学会发布
台
平
息
信
准
标
体
团
国
全
T/GVS015—2024
目次
前言II
台
引言III
1范围1
2规范性引用文件1
平
3术语和定义1
4原理1
5符号与缩略语1
息
6测试环境条件2
7仪器设备及样品2
8操作准备3
信
9测试步骤3
10数据处理4
11测量不确定度5
准
12试验报告5
附录A（规范性）远程等离子体源的解离率试验报告样式6
标
体
团
国
全
I
T/GVS015—2024
前言
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