等离子体参数测试方法及编制说明.pdf

GB/TXXXXX—XXXX

目次

免言……………………………I

1范围…………………………1

2规范性引用文件……………1

3术语和定义…………………2

4测试原理……………………3

5测试条件……………………4

5.1环境条件………………4

5.2测试设备条件…………………………4

6设备及装繮…………………5

6.1激光源…………………5

6.2光谱仪或光电探测器…………………5

6.3数据采集………………6

6.4出射激光收集…………………………6

7测试步骤……………………6

7.1测试参数………………6

7.2活性粒子………………6

7.3离子参数………………6

7.4电子参数………………7

8数据处理……………………7

8.1活性粒子………………7

8.2离子参数………………7

8.3电子参数………………8

9测试报告……………………9

附录A（资料性）测试参数推导过程………………………10

附录B（资料性）部儆活性物质测试参考激光波长………17

附录C（资料性）测试报告记录表…………19

参考文献………………………20

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前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导儙第1部儆：标准化文件的结构和起草规儙》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专儩。本文件的发布机构不承担识儫专儩的责任。

本文件由中国科学院提出。

本文件由全国光电测试标准化技术委员会（SAC/TC487）归口。

本文件起草单位：、、、、、。

本文件主要起草人：、、、、。

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